山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通

近日，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通，实现具备完整MEMS生产加工能力，其自主生产的首款产品正式下线并交付，产品质量经检测认证得到客户高度认可。

微纳制造平台建设总投资2亿元，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。平台总面积5500平方米，洁净间面积约1800平方米，包括光刻区、刻蚀区、湿法区、高温区、注入区、金属化区、划片区、封装区、测试区等9大功能区，配置光刻、键合、扩散、腐蚀、刻蚀、沉积、注入、封装、测试等相关设备90余台，可实现MEMS芯片生产全过程。

该产品主要应用于“再生医学”领域相关设备，市场前景广阔。截至4月底，微纳制造平台已接单上线10余个项目，主要服务于相关产业链上下游客户，进行工艺验证及批量代工，相关产品应用于3D扫描仪、红外光源芯片、医学检测等领域。微纳制造平台将以专业的技术和专注的态度更好地集聚MEMS产业链上下游客户，成为集产学研于一体的微纳研发、加工、生产和中试基地。

下一步，产研院拟于近期举办“微纳系统技术产业创新国际研讨会”，正式对外发布硅基微纳制造公共技术服务平台的产品转化和工程化验证服务。微纳制造平台广泛承接社会各界相关需求订单，诚邀国内外企业、研发团队洽谈合作，共同推动我国微纳加工制造产业发展。